TransMIT-Zentrum für Dünnschichttechnologie, Mikro- und Nanostrukturierung (DüMiNa)

c/o Justus-Liebig-Universität Gießen
I. Physikalisches Institut
Heinrich-Buff-Ring 16
35392 Gießen
+49 (6 41) 99 331 01
Das TransMIT-Zentrum für Dünnschichttechnologie, Mikro- und Nanostrukturierung bietet Deposition und Optimierung funktionaler Schichten und Schichtsysteme mittels Sputterverfahren, Atomlagenabscheidung (ALD) oder Molekularstrahlepitaxie an, darüber hinaus auch Oberflächenmodifikation durch Ionenbeschuss (Polieren / Ätzen) sowie top-down Mikro- und Nanostrukturierung von Schichten mit Photo- und Elektronenstrahllithografie.
Leistungsspektrum
Angebotene Verfahren:
  • Deposition und Optimierung von funktionalen Schichten und Schichtsystemen mittels verschiedener Sputterverfahren
  • Konforme Schichtabscheidung ultradünner Oxidschichten mittels Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) auf beliebig geformten Substraten
  • Herstellung von Hetero-/Hybridstrukturen mittels Molekularstrahlepitaxie
  • Oberflächenmodifikation durch gezielten Ionenbeschuss (Polieren / Ätzen)
  • Mikro- und Nanostrukturierung, u.a. kontrollierte Herstellung der Nanostrukturen durch Selbstorganisation (bottom up) oder mittels Elektronenstrahl- und/oder Photolithografie gefolgt von Strukturübertragung (top-down).

Service- und Dienstleistungen:
  • Beratung und Durchführung von Machbarkeitsstudien über die Entwicklung oder Anpassung von Prozessen für den speziellen Kundenbedarf
  • Herstellung von Funktionsmustern
  • Entwurf und Herstellung von Schichtsystemen
  • Entwurf und Herstellung von Mikro-/Nanostrukturen
Zielgruppen
  • Halbleiterindustrie
  • Optikindustrie
Leitung

Prof. Dr. Peter J. Klar

c/o Justus-Liebig-Universität Gießen
I. Physikalisches Institut
Heinrich-Buff-Ring 16
35392 Gießen
+49 (6 41) 99 331 90
+49 (6 41) 99 331 39
Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!

Prof. Dr. Sangam Chatterjee

c/o Justus-Liebig-Universität Gießen
I. Physikalisches Institut
Heinrich-Buff-Ring 16
35392 Gießen
+49 (6 41) 99 331 00
+49 (6 41) 99 331 39
Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!