Gitter-Ionenquelle mit adaptivem Extraktionsgitter

Kurzbeschreibung:
In dieser neuartigen Ionenquelle können die Anordnung der Extraktionsöffnungen von Einzelgittern sowie die Abstände zwischen den Einzelgittern eines Extraktionsgittersystems kontinuierlich verändert werden. Das so erreichte Strahlprofil ermöglicht beispielsweise eine homogene konforme Beschichtung einer Freiform.

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